6英寸區(qū)熔硅單晶爐實現(xiàn)國產(chǎn)化
2012年09月25日 10:32 6846次瀏覽 來源： 中國化工報 分類： 有色裝備
近日，北京京運通科技股份有限公司成功開發(fā)出6英寸區(qū)熔單晶爐設(shè)備。采用該國產(chǎn)設(shè)備已連續(xù)成功拉制出6英寸區(qū)熔單晶。
中國電子專用設(shè)備工業(yè)協(xié)會對京運通公司開發(fā)的區(qū)熔單晶硅爐設(shè)備進行了技術(shù)鑒定。專家認(rèn)為，該設(shè)備打破了國外對5~6英寸區(qū)熔單晶生產(chǎn)設(shè)備的壟斷，為推進大尺寸區(qū)熔單晶設(shè)備產(chǎn)業(yè)化奠定了堅實基礎(chǔ)。據(jù)介紹，區(qū)熔硅單晶純度高于直拉硅單晶，是電力電子器件的關(guān)鍵材料。
責(zé)任編輯：安子
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