日廠研發(fā)大尺寸液晶屏退火工序準(zhǔn)分子激光設(shè)備
2016年07月06日 10:28 11677次瀏覽 來(lái)源： 新材料在線(xiàn) 分類(lèi)： 有色裝備
在工業(yè)實(shí)際生產(chǎn)過(guò)程中，大型尺寸面板的制造，特別是50～70英寸TV面板的大尺寸液晶制造設(shè)備的制造過(guò)程中，液晶屏退火工序往往無(wú)法滿(mǎn)足實(shí)際生產(chǎn)的要求。近日，日本的一家公司研發(fā)出大尺寸液晶屏退火工序的準(zhǔn)分子激光設(shè)備，可以解決產(chǎn)業(yè)由來(lái)已久的痛點(diǎn)。
據(jù)悉，這家名叫Gigaphoton的日本公司6月24日宣布，開(kāi)發(fā)出了用于制造平板顯示器（FPD）的極小激光退火工序用準(zhǔn)分子激光器“GIGANEX”系列。這是一款應(yīng)用高可靠性半導(dǎo)體光刻用準(zhǔn)分子激光器的退火用準(zhǔn)分子激光器，是專(zhuān)供V-Technology制造的裝置使用的專(zhuān)用機(jī)。通過(guò)導(dǎo)入已有的a-Si（非晶硅）面板制造工序，使a-Si向p-Si（多晶硅）結(jié)晶化，可制造用以往a-Si無(wú)法制造的8K等高精細(xì)面板。
另外還可實(shí)現(xiàn)以往激光退火工藝無(wú)法實(shí)現(xiàn)的大型面板尺寸的制造，可滿(mǎn)足制造50～70英寸TV面板的大尺寸液晶制造設(shè)備工廠的要求。
不久前將該激光器配備在日本V-Technology公司的極小激光退火裝置上，供貨給了大尺寸液晶屏制造設(shè)備工廠用于LTPS（低溫多晶硅）TFT液晶面板制造。
責(zé)任編輯：趙天寧
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