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　　序：
　　“這是最好的時(shí)代，也是最壞的時(shí)代。”
　　很長(zhǎng)一段時(shí)間以來(lái)，伴隨世界范圍內(nèi)能源競(jìng)爭(zhēng)的加劇，“新能源或?qū)⒁l(fā)‘第四次工業(yè)革命’ ”的研判為行業(yè)所廣泛認(rèn)同。中國(guó)恩菲自主研發(fā)的多晶硅生產(chǎn)技術(shù)問(wèn)世后，民族多晶硅產(chǎn)業(yè)開(kāi)拓者一舉沖破國(guó)外光伏強(qiáng)國(guó)技術(shù)封鎖，登上了全球太陽(yáng)能開(kāi)發(fā)利用的制高點(diǎn)。而后，經(jīng)歷了2008年《華盛頓郵報(bào)》針對(duì)多晶硅環(huán)保方面的不實(shí)輿論打壓，又在2010年遭遇美、韓多晶硅低價(jià)傾銷和2012年歐美“雙反”制裁，中國(guó)光伏產(chǎn)業(yè)在強(qiáng)勢(shì)崛起的同時(shí)，不可避免地遭到西方產(chǎn)業(yè)者的強(qiáng)硬打壓，可謂“命途多舛”。所幸，以中國(guó)恩菲為代表的中國(guó)光伏產(chǎn)業(yè)的“理想者”從未停止努力的腳步，更不曾放棄堅(jiān)定的信念：在持續(xù)圍繞環(huán)保、成本、質(zhì)量、安全進(jìn)行技改提升、為降本增效不斷探索的道路上，他們用一點(diǎn)一滴的努力尋求逆境生存之法，他們用生生不息的堅(jiān)守等待光伏產(chǎn)業(yè)撥云見(jiàn)日的美好未來(lái)。
　　上世紀(jì)末，在中國(guó)恩菲工程技術(shù)有限公司（以下簡(jiǎn)稱“中國(guó)恩菲”）寫(xiě)給國(guó)家發(fā)改委的項(xiàng)目建議書(shū)和可行性研究中，包含這樣一張照片：待嫁的藏族少女身邊，擺放著家里準(zhǔn)備的兩樣嫁妝——電視機(jī)和光伏發(fā)電板。在光伏產(chǎn)業(yè)剛剛起步之時(shí)，照片表達(dá)了恩菲人對(duì)光伏產(chǎn)業(yè)發(fā)展的良好預(yù)期。
　　當(dāng)時(shí)，我國(guó)雖擁有豐富的硅礦資源，但很長(zhǎng)一段時(shí)間里，都難以擺脫國(guó)外技術(shù)封鎖和市場(chǎng)壟斷，信息產(chǎn)業(yè)和新能源產(chǎn)業(yè)發(fā)展受制于人，舉步維艱。
　　20年，在人類歷史長(zhǎng)河中只是電光火石的短短一瞬，但對(duì)于中國(guó)多晶硅產(chǎn)業(yè)而言，卻是一段勵(lì)精圖治的艱辛歷程。如今，20年過(guò)去了，照片上的初嫁少女人到中年，昔日珍貴的光伏發(fā)電板早已如同“堂前燕”飛入尋常百姓家，“屋脊之光”通過(guò)一座座光伏電站轉(zhuǎn)化為源源不斷的清潔能源為民所用。
　　20年過(guò)去，我國(guó)光伏產(chǎn)業(yè)在摸索中前行，經(jīng)歷了產(chǎn)能擴(kuò)張的突飛猛進(jìn)，經(jīng)歷了國(guó)際“雙反”的步履蹣跚，濃縮了其他產(chǎn)業(yè)上百年的發(fā)展歷程，艱難險(xiǎn)阻，逆境崛起，浴火重生。
　　20年過(guò)去，伴隨國(guó)內(nèi)完成光伏制造產(chǎn)業(yè)體系的形成，伴隨光伏大國(guó)到光伏強(qiáng)國(guó)的蛻變，中國(guó)恩菲作為民族多晶硅產(chǎn)業(yè)的開(kāi)拓者和技術(shù)創(chuàng)新的旗手，形成了位居世界前十的生產(chǎn)規(guī)模，并持續(xù)豐富產(chǎn)品，延伸產(chǎn)業(yè)鏈，追隨著太陽(yáng)的腳步，鑄就了一條振興民族多晶硅產(chǎn)業(yè)的輝煌道路。
　　自主研發(fā)清潔生產(chǎn)技術(shù)讓“寶石”閃耀光芒
　　多晶硅是一種超高純材料，是制造基礎(chǔ)電路等半導(dǎo)體器件的關(guān)鍵基礎(chǔ)材料，也是當(dāng)今光伏產(chǎn)業(yè)快速發(fā)展的核心材料，更是國(guó)家鼓勵(lì)優(yōu)先發(fā)展的戰(zhàn)略材料，更有“上帝賜給人類的寶石”之稱，足見(jiàn)其對(duì)于現(xiàn)代社會(huì)信息化和全球化解能源危機(jī)的重要作用。
　　但是，在中國(guó)恩菲具有自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)的多晶硅生產(chǎn)技術(shù)誕生之前，我國(guó)多晶硅生產(chǎn)全部依賴技術(shù)進(jìn)口，由于美、日、德技術(shù)封鎖嚴(yán)重，國(guó)內(nèi)引進(jìn)的只是落后的多晶硅生產(chǎn)技術(shù)，生產(chǎn)水平、規(guī)模、成本、能耗、環(huán)保等問(wèn)題備受詬病——市場(chǎng)有限、技術(shù)薄弱，行業(yè)前景并不明朗。而也就是在那時(shí)，中國(guó)恩菲將目光投向光伏產(chǎn)業(yè)，對(duì)行業(yè)的光明未來(lái)給予了良好的預(yù)期，擔(dān)起助推行業(yè)發(fā)展、產(chǎn)業(yè)振興的國(guó)家責(zé)任，持續(xù)研發(fā)多晶硅生產(chǎn)技術(shù)，并實(shí)現(xiàn)產(chǎn)業(yè)化。
　　時(shí)間回到20年前的1997年。彼時(shí)，對(duì)于行業(yè)而言，閉環(huán)三氯氫硅法生產(chǎn)多晶硅還很陌生。伴隨中國(guó)恩菲設(shè)計(jì)的年產(chǎn)百噸多晶硅試驗(yàn)示范線的成功投產(chǎn)，干法回收、氫化等多項(xiàng)技術(shù)難題得到成功破解，項(xiàng)目獲得國(guó)家優(yōu)秀工程設(shè)計(jì)銀獎(jiǎng)，行業(yè)對(duì)技術(shù)的深入研究也邁開(kāi)了跨越的腳步。2000年，中國(guó)恩菲在國(guó)內(nèi)率先開(kāi)展多晶硅高效節(jié)能環(huán)保生產(chǎn)技術(shù)與裝備研究，隨后獲得國(guó)家發(fā)明專利“四氯化硅氫化制備三氯氫硅方法”授權(quán)。2002年，中國(guó)恩菲完成“年產(chǎn)2000噸三氯氫硅新技術(shù)產(chǎn)業(yè)化項(xiàng)目”，自主研發(fā)的“合成產(chǎn)物加壓冷凝技術(shù)”“加壓提純技術(shù)和尾氣干法回收技術(shù)”得到成功應(yīng)用，一舉解決了多晶硅生產(chǎn)過(guò)程中原料轉(zhuǎn)化率極低、絕大部分原料硅進(jìn)入尾氣并作為廢氣處理這一關(guān)鍵難題，并在節(jié)能環(huán)保方面取得顯著成效，為建設(shè)萬(wàn)噸級(jí)工廠提供了良好的技術(shù)基礎(chǔ)，也更加堅(jiān)定了恩菲人發(fā)展多晶硅產(chǎn)業(yè)的決心和信心。
　　伴隨傳統(tǒng)化石原料的日益枯竭，以光伏太陽(yáng)能為代表的新能源成為人類能源需求的極佳選擇。作為光伏發(fā)電最主要的上游原料，多晶硅逐步受到市場(chǎng)關(guān)注，需求日益提升。2003年，中國(guó)恩菲投資建設(shè)多晶硅生產(chǎn)子企業(yè)——洛陽(yáng)中硅高科技有限公司（以下簡(jiǎn)稱“中硅高科”），同年，完全依靠自主研發(fā)技術(shù)、自主設(shè)計(jì)、全部采用國(guó)產(chǎn)設(shè)備的國(guó)內(nèi)首條年產(chǎn)300噸多晶硅產(chǎn)業(yè)化示范線項(xiàng)目開(kāi)工。和今天數(shù)萬(wàn)噸的生產(chǎn)規(guī)模比起來(lái)，300噸簡(jiǎn)直微不足道，可在那時(shí)，全國(guó)多晶硅產(chǎn)能僅80噸，從“零”開(kāi)始建設(shè)如此大規(guī)模的多晶硅生產(chǎn)線，在國(guó)內(nèi)是“開(kāi)天辟地”的大事。隨后，通過(guò)“研-產(chǎn)-電-硅”強(qiáng)強(qiáng)聯(lián)合，中國(guó)恩菲多晶硅團(tuán)隊(duì)邁開(kāi)了在多晶硅規(guī)模化生產(chǎn)道路上行進(jìn)的腳步，為尋找安全、高純、環(huán)保、低成本、大規(guī)模多晶硅生產(chǎn)工藝而不懈努力。
　　在質(zhì)疑和壓力中，在期待和盼望里，2004年，中國(guó)恩菲完成國(guó)內(nèi)首套12對(duì)棒節(jié)能型還原爐技術(shù)及裝置研發(fā)。2005年，項(xiàng)目投產(chǎn)即達(dá)到設(shè)計(jì)指標(biāo)，標(biāo)志著我國(guó)徹底打破了國(guó)外多晶硅技術(shù)壟斷和封鎖，扭轉(zhuǎn)了對(duì)外依賴的困局。以此為良好開(kāi)端，在隨后的幾年里，中硅高科相繼建設(shè)了年產(chǎn)千噸（2007年投產(chǎn)）、年產(chǎn)2000噸（2008年投產(chǎn)）多晶硅生產(chǎn)線，規(guī)模創(chuàng)國(guó)內(nèi)之最，在滿足太陽(yáng)能級(jí)需求基礎(chǔ)上，部分產(chǎn)品已達(dá)到電子級(jí)標(biāo)準(zhǔn)，為中國(guó)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)原料自主照亮了道路。2013年，通過(guò)實(shí)施國(guó)家產(chǎn)業(yè)振興和技術(shù)改造專項(xiàng)“超高純多晶硅節(jié)能技改”，中硅高科產(chǎn)能進(jìn)入世界前十。
　　伴隨副產(chǎn)物四氯化硅生產(chǎn)氣相白炭黑等項(xiàng)目（2009年）的相繼投產(chǎn)，中國(guó)恩菲以技術(shù)為引領(lǐng)，以產(chǎn)業(yè)化項(xiàng)目為平臺(tái)，以“多元發(fā)展”為目標(biāo)，全面實(shí)現(xiàn)轉(zhuǎn)型升級(jí)。2016年，好消息再次傳來(lái)：中硅高科中標(biāo)國(guó)家工業(yè)強(qiáng)基工程“電子級(jí)高純多晶硅”項(xiàng)目，將建設(shè)年產(chǎn)千噸電子級(jí)多晶硅生產(chǎn)線，這既體現(xiàn)出了國(guó)家對(duì)中國(guó)恩菲多年來(lái)自主研發(fā)多晶硅生產(chǎn)技術(shù)的認(rèn)可，也再次賦予了中國(guó)恩菲和中硅高科以持續(xù)引領(lǐng)行業(yè)發(fā)展的“國(guó)家隊(duì)”重任。
　　值得一提的是，在技術(shù)不斷完善、進(jìn)步的同時(shí)，中國(guó)恩菲在研發(fā)之初就意識(shí)到知識(shí)產(chǎn)權(quán)的重要性。由于中國(guó)光伏產(chǎn)業(yè)迅速改變了世界產(chǎn)業(yè)格局，為應(yīng)對(duì)將來(lái)可能發(fā)生的爭(zhēng)端，中國(guó)恩菲繼“四氯化硅氫化”“三氯氫硅提純”兩項(xiàng)技術(shù)取得突破并申請(qǐng)專利后，又圍繞尾氣干法回收這一核心技術(shù)組建了專利群。事實(shí)證明，當(dāng)國(guó)際打壓來(lái)臨時(shí)，專利是自主技術(shù)的最好證明，也是產(chǎn)業(yè)者能夠逆境前行的壓艙石。
　　在國(guó)家大力推進(jìn)節(jié)能環(huán)保產(chǎn)業(yè)創(chuàng)新發(fā)展的今天，中國(guó)恩菲仍然沒(méi)有停歇，在技術(shù)研發(fā)和成本降低方面的努力從未停止。對(duì)此，中國(guó)恩菲副總工程師、全國(guó)勞動(dòng)模范、有色行業(yè)設(shè)計(jì)大師嚴(yán)大洲這樣說(shuō)：“技術(shù)創(chuàng)新沒(méi)有止境，更何況電子信息領(lǐng)域的技術(shù)日新月異，我們過(guò)去一直在追趕，現(xiàn)在是實(shí)現(xiàn)超越的時(shí)候了。”
　　清潔、高效、低能耗 多晶硅生產(chǎn)告別“三高”
　　當(dāng)前，盡管我國(guó)多晶硅產(chǎn)量已經(jīng)位居世界前列，但對(duì)外進(jìn)口量依然驚人。伴隨國(guó)內(nèi)光伏內(nèi)需市場(chǎng)的快速啟動(dòng)，對(duì)多晶硅的需求將持續(xù)增長(zhǎng)，光伏產(chǎn)業(yè)已渡過(guò)初生時(shí)的冒進(jìn)，逐步進(jìn)入理性平穩(wěn)發(fā)展階段。在此環(huán)境下，發(fā)展新能源，助力光伏崛起，仍需行業(yè)人士聚焦節(jié)能、減耗、降本，以及為此不斷創(chuàng)新，這是多晶硅生存和發(fā)展的唯一選擇，也是獨(dú)立自主發(fā)展我國(guó)多晶硅光伏產(chǎn)業(yè)的必經(jīng)之路。
　　中國(guó)恩菲采用當(dāng)前多晶硅生產(chǎn)的主流工藝閉環(huán)三氯氫硅法生產(chǎn)多晶硅，以綠色環(huán)保為出發(fā)點(diǎn)，以產(chǎn)品品質(zhì)為核心，以節(jié)能降耗為理念，結(jié)合現(xiàn)有工藝流程，不斷優(yōu)化工藝路線。多年來(lái)，針對(duì)多晶硅生產(chǎn)的能耗、環(huán)保和品質(zhì)，中國(guó)恩菲攻克了大量生產(chǎn)關(guān)鍵難題。
　　節(jié)能技術(shù)解決多晶硅生產(chǎn)的高能耗問(wèn)題。
　　高純多晶硅的生產(chǎn)過(guò)程是將高純?nèi)葰涔栌酶呒儦錃膺€原成高純多晶硅的過(guò)程，其能耗占總能耗超過(guò)50%，是實(shí)現(xiàn)多晶硅生產(chǎn)環(huán)節(jié)節(jié)能降耗的重點(diǎn)。大型節(jié)能還原爐系統(tǒng)是實(shí)現(xiàn)大規(guī)模化生產(chǎn)多晶硅產(chǎn)品的關(guān)鍵技術(shù)之一，是解決多晶硅大規(guī)模生產(chǎn)、成本低廉、提高產(chǎn)品質(zhì)量的根本途徑。中國(guó)恩菲多晶硅研發(fā)團(tuán)隊(duì)首次創(chuàng)立節(jié)能還原爐系統(tǒng)設(shè)計(jì)方法，通過(guò)模擬優(yōu)化，大幅提高多晶硅節(jié)能還原爐單爐年產(chǎn)量，在此基礎(chǔ)上，還成功研發(fā)36對(duì)棒、48對(duì)棒、60對(duì)棒大型節(jié)能多晶硅還原設(shè)備及加壓還原工藝技術(shù)，為萬(wàn)噸級(jí)多晶硅生產(chǎn)線和節(jié)能技改提供技術(shù)支撐，具有重大的市場(chǎng)價(jià)值和良好的產(chǎn)業(yè)化開(kāi)發(fā)前景。同時(shí)將整個(gè)多晶硅工程的各種能源要素通盤(pán)考慮，冷熱綜合利用，為多晶硅低成本、低能耗經(jīng)濟(jì)運(yùn)行創(chuàng)造條件。
　　尾氣干法回收化廢氣為資源，徹底實(shí)現(xiàn)清潔生產(chǎn)。
　　多晶硅還原尾氣主要含有氫氣、氯化氫、三氯氫硅、四氯化硅等成分。過(guò)去通常采用濕法回收還原尾氣，工藝消耗大、收率低、生產(chǎn)成本高，也正為此，一段時(shí)間以來(lái)，多晶硅行業(yè)一直被冠以“高能耗、高排放、高污染”的“罪名”。
　　為解決行業(yè)難題，中國(guó)恩菲及中硅高科研發(fā)團(tuán)隊(duì)開(kāi)發(fā)了大型還原尾氣干法回收系統(tǒng)技術(shù)，充分利用尾氣中各組分物理化學(xué)性質(zhì)的差異，首創(chuàng)具有自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)的“加壓鼓泡淋洗-吸收-脫吸-活性炭吸附”的多晶硅尾氣分離回收利用新工藝；成功研發(fā)并建立具有自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)的吸收塔、脫吸塔、活性炭吸附器等特殊結(jié)構(gòu)的大型裝置，實(shí)現(xiàn)單條還原尾氣處理能力滿足年產(chǎn)5000噸及以上規(guī)模多晶硅建設(shè)項(xiàng)目配套需求。過(guò)去，進(jìn)入尾氣的硅占原料超過(guò)80%，如不進(jìn)行回收，資源極大浪費(fèi)。通過(guò)尾氣干法回收技術(shù)，進(jìn)入尾氣的硅能夠得到有效收集，并分門(mén)別類進(jìn)入生產(chǎn)各個(gè)環(huán)節(jié)，將資源回收率從25%提升到99%。
　　尾氣干法回收是多晶硅生產(chǎn)核心技術(shù)，中國(guó)恩菲圍繞干法回收的整體工藝、各種成分的處理、相關(guān)裝備不斷開(kāi)發(fā)、改進(jìn)、優(yōu)化，組建了專利群，為民族多晶硅產(chǎn)業(yè)和自主技術(shù)提供了知識(shí)產(chǎn)權(quán)支撐和保障。目前，國(guó)內(nèi)首套大型還原尾氣干法回收裝置已經(jīng)成功應(yīng)用于中硅高科各條生產(chǎn)線，從運(yùn)行結(jié)果看，氯硅烷、氫氣、氯化氫氣體利用率分別達(dá)到98.5%、99%、99%以上，使多晶硅生產(chǎn)過(guò)程中純氫消耗從傳統(tǒng)西門(mén)子工藝的近35立方米/千克降至約0.5立方米/千克，且系統(tǒng)能夠適應(yīng)多晶硅生產(chǎn)能力的變化，從根本上控制“三廢”排放，減少多晶硅原料消耗30%，降低多晶硅成本，實(shí)現(xiàn)了清潔、無(wú)害化生產(chǎn)。
　　對(duì)副產(chǎn)物四氯化硅進(jìn)行冷氫化，助力能耗降低。
　　據(jù)統(tǒng)計(jì)，每生產(chǎn)1噸多晶硅產(chǎn)品將產(chǎn)生副產(chǎn)物四氯化硅20余噸，如作為廢物處理將直接影響環(huán)境、安全及企業(yè)效益。
　　通過(guò)小型、半工業(yè)試驗(yàn)，中國(guó)恩菲從工藝上實(shí)現(xiàn)了將多晶硅生產(chǎn)過(guò)程中產(chǎn)生的四氯化硅副產(chǎn)物通過(guò)冷氫化系統(tǒng)轉(zhuǎn)化為三氯氫硅原料，返回系統(tǒng)使用，少量不能轉(zhuǎn)化返回的低品質(zhì)四氯化硅經(jīng)提純后用于氣相白炭黑生產(chǎn)，副產(chǎn)物循環(huán)利用率99%以上，多晶硅生產(chǎn)成本降低35%，通過(guò)物料的閉式循環(huán)利用，有效解決了多晶硅企業(yè)規(guī)?；a(chǎn)的瓶頸問(wèn)題。
　　中國(guó)恩菲將創(chuàng)新技術(shù)集成后，在中硅高科實(shí)施產(chǎn)業(yè)化。運(yùn)行結(jié)果表明，首創(chuàng)的低溫加壓氫化生產(chǎn)工藝、創(chuàng)新研制大型低溫加壓氫化裝置和氫氣回收技術(shù)，在反應(yīng)條件、處理能力、一次轉(zhuǎn)化率和單位產(chǎn)品電耗方面都顯著優(yōu)于當(dāng)時(shí)國(guó)外氫化技術(shù)，達(dá)到國(guó)際領(lǐng)先水平。該工藝通過(guò)加壓、吸附、凈化系統(tǒng)，將活化、氫化的尾氣中氫氣全部回收，使其返回系統(tǒng)后循環(huán)使用，利用氫化高溫反應(yīng)產(chǎn)物能量加熱進(jìn)入反應(yīng)器的反應(yīng)物料技術(shù)，降低能耗達(dá)30%。
　　提高原料純度，提升產(chǎn)品品質(zhì)。
　　多晶硅純度是衡量產(chǎn)品品質(zhì)的關(guān)鍵因素。中國(guó)恩菲從提高原料三氯氫硅的純度入手，聚焦于產(chǎn)品質(zhì)量的提升。
　　發(fā)明了三氯氫硅合成、高效篩板與填料組合的加壓精餾提純技術(shù)，單套高純?nèi)葰涔璺蛛x能力為當(dāng)時(shí)國(guó)內(nèi)先進(jìn)水平的10倍，提純后三氯氫硅指標(biāo)優(yōu)于國(guó)內(nèi)先進(jìn)水平2倍以上，且能滿足電子級(jí)多晶硅純度要求。
　　發(fā)明大型高效、加壓、高溫三氯氫硅提純及偶合工藝，減少蒸汽消耗和塔頂循環(huán)水消耗，降低能耗45%以上。
　　創(chuàng)新研制大型三氯氫硅加壓合成裝置，單套系統(tǒng)年產(chǎn)能高出國(guó)內(nèi)最好水平2倍以上，合成產(chǎn)物中三氯氫硅含量、氯化氫綜合利用率和硅粉利用率，分別高出國(guó)內(nèi)最好水平10%、9.1%和18.6%，達(dá)到國(guó)內(nèi)領(lǐng)先水平。
　　創(chuàng)新研制了合成產(chǎn)物加壓分離和尾氣全回收工藝，回收的氫氣和氯化氫氣體返回生產(chǎn)系統(tǒng)，從根本上解決環(huán)境污染問(wèn)題，顯著降低成本。
　　國(guó)家科研項(xiàng)目支撐 擔(dān)當(dāng)振興產(chǎn)業(yè)重任
　　多年來(lái)，中國(guó)恩菲研發(fā)團(tuán)隊(duì)緊緊圍繞“多晶硅高效節(jié)能環(huán)保生產(chǎn)新技術(shù)、裝備與產(chǎn)業(yè)化”實(shí)施創(chuàng)新技術(shù)研發(fā)，贏得了國(guó)家多項(xiàng)科技攻關(guān)的支持。如，國(guó)家“十一五”支撐計(jì)劃，“24對(duì)棒加壓還原爐”項(xiàng)目成功研發(fā)第三代還原爐，單爐產(chǎn)量超過(guò)6噸，能耗達(dá)到國(guó)際先進(jìn)水平；實(shí)施多項(xiàng)國(guó)家“863”計(jì)劃，“24對(duì)棒節(jié)能型多晶硅還原爐成套裝置研究”項(xiàng)目實(shí)現(xiàn)單爐產(chǎn)量提高5倍，“多晶硅副產(chǎn)物利用關(guān)鍵技術(shù)研究”中，通過(guò)“高性能氣相二氧化硅制備工藝技術(shù)研究”和“氣相二氧化硅表面處理及尾氣循環(huán)利用技術(shù)研究”兩個(gè)課題，實(shí)現(xiàn)利用多晶硅生產(chǎn)副產(chǎn)物四氯化硅生產(chǎn)高品質(zhì)氣相二氧化硅的關(guān)鍵技術(shù)突破，在進(jìn)一步延伸產(chǎn)業(yè)鏈的同時(shí)，實(shí)現(xiàn)大規(guī)模多晶硅生產(chǎn)線中物料的完全閉路循環(huán)。此項(xiàng)技術(shù)不但能降低多晶硅生產(chǎn)的物料消耗，也從根本上實(shí)現(xiàn)了副產(chǎn)物的綜合利用，真正實(shí)現(xiàn)多晶硅產(chǎn)業(yè)的節(jié)能減排和清潔生產(chǎn)。
　　隨后，以工信部電子基金項(xiàng)目、國(guó)家發(fā)改委項(xiàng)目等為依托，中國(guó)恩菲先后完成第四代、第五代還原爐的研發(fā)與產(chǎn)業(yè)化，成為國(guó)際單爐產(chǎn)量最高、單位能耗最低的節(jié)能工藝與裝備，有效解決了多晶硅生產(chǎn)中的高能耗問(wèn)題。技術(shù)推廣后，使我國(guó)多晶硅規(guī)模提高了千倍，單爐產(chǎn)量提高10倍，能耗降低超過(guò)66%，市場(chǎng)需求自給率超過(guò)50%。
　　歷經(jīng)十多年攻關(guān)，中國(guó)恩菲先后完成國(guó)家“863”計(jì)劃課題3項(xiàng)、國(guó)家科技部攻關(guān)課題8項(xiàng)、國(guó)家電子信息產(chǎn)業(yè)發(fā)展基金課題3項(xiàng)、省/市科技攻關(guān)重點(diǎn)項(xiàng)目6項(xiàng)、國(guó)家發(fā)改委高技術(shù)產(chǎn)業(yè)化示范工程3項(xiàng)、國(guó)家發(fā)改委、工信部節(jié)能技改項(xiàng)目1項(xiàng)、中冶集團(tuán)“三五”課題1項(xiàng)，工藝改進(jìn)研發(fā)課題150多項(xiàng)，取得國(guó)際先進(jìn)水平成果10項(xiàng)、國(guó)內(nèi)領(lǐng)先水平成果2項(xiàng)，解決了一系列困擾行業(yè)多年的難題，在多晶硅高效節(jié)能環(huán)保生產(chǎn)的關(guān)鍵技術(shù)、裝備與理論研究方面取得重大突破，最終形成了具有國(guó)際競(jìng)爭(zhēng)力的技術(shù)和產(chǎn)品，消除了制約我國(guó)信息產(chǎn)業(yè)化和新能源產(chǎn)業(yè)的瓶頸。
　　唯一國(guó)家工程實(shí)驗(yàn)室 突破技術(shù)瓶頸
　　2008年，國(guó)家發(fā)改委批準(zhǔn)在中硅高科設(shè)立“多晶硅材料制備技術(shù)國(guó)家工程實(shí)驗(yàn)室”——這是國(guó)家多晶硅材料制備技術(shù)領(lǐng)域的唯一一家國(guó)家級(jí)重點(diǎn)工程實(shí)驗(yàn)室，中國(guó)恩菲副總工程師、全國(guó)勞動(dòng)模范、有色行業(yè)設(shè)計(jì)大師嚴(yán)大洲擔(dān)任實(shí)驗(yàn)室主任。該實(shí)驗(yàn)室依托中國(guó)恩菲，聯(lián)合國(guó)內(nèi)高等院校和多晶硅生產(chǎn)企業(yè)，共同研究突破技術(shù)瓶頸，培養(yǎng)、凝聚研發(fā)人才。
　　目前，實(shí)驗(yàn)室已經(jīng)按照ASTM標(biāo)準(zhǔn)，建成面積達(dá)近萬(wàn)平方米的6個(gè)關(guān)鍵技術(shù)試驗(yàn)平臺(tái)，包括西門(mén)子工藝研發(fā)平臺(tái)、硅烷和流化床工藝研發(fā)平臺(tái)、多晶硅深加工研發(fā)平臺(tái)、硅基電子功能材料研發(fā)平臺(tái)、硅基新能源材料研發(fā)平臺(tái)、高純后處理研發(fā)平臺(tái)，配置了篩板塔、填料塔等各種類型提純?cè)囼?yàn)裝置，24、36、48等種類齊全的還原試驗(yàn)爐，反應(yīng)器、活化干燥器等四氯化硅氫化試驗(yàn)裝置，吸收塔、脫吸塔等特殊結(jié)構(gòu)的尾氣回收裝置及其他大型試驗(yàn)設(shè)備共計(jì)150余臺(tái)/套，可以開(kāi)展大型、跨領(lǐng)域的行業(yè)關(guān)鍵技術(shù)攻關(guān)。實(shí)驗(yàn)室于2011年10月通過(guò)CMA計(jì)量認(rèn)證；2013年1月通過(guò)國(guó)家CNAS認(rèn)證，具備多晶硅材料相關(guān)20類產(chǎn)品、140多項(xiàng)參數(shù)的檢測(cè)能力，于2013年8月被國(guó)家人力資源和社會(huì)保障部批準(zhǔn)為博士后科研工作站設(shè)站單位。
　　針對(duì)制約我國(guó)多晶硅生產(chǎn)現(xiàn)狀和需求，中國(guó)恩菲以實(shí)驗(yàn)室為平臺(tái)，開(kāi)發(fā)研究大規(guī)模、低單耗、高品質(zhì)的高純多晶硅清潔生產(chǎn)工藝，形成了具有國(guó)際先進(jìn)水平的萬(wàn)噸級(jí)規(guī)模多晶硅生產(chǎn)技術(shù)體系，提升了產(chǎn)業(yè)核心競(jìng)爭(zhēng)力。以該實(shí)驗(yàn)室為基礎(chǔ)，中國(guó)恩菲建設(shè)了國(guó)家多晶硅檢測(cè)中心，配置先進(jìn)分析方法以及電感耦合等離子體質(zhì)譜儀、發(fā)射光譜儀等先進(jìn)檢測(cè)設(shè)備近百臺(tái)/套，可對(duì)外提供檢測(cè)服務(wù)，涵蓋多晶硅生產(chǎn)的原料、中間物、產(chǎn)品、環(huán)保類等60多個(gè)大項(xiàng)檢測(cè)，服務(wù)全行業(yè)。
　　在自主創(chuàng)新引領(lǐng)技術(shù)進(jìn)步的過(guò)程中，中國(guó)恩菲、中硅高科研發(fā)團(tuán)隊(duì)還主編、參編了多項(xiàng)國(guó)內(nèi)外行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)，制定了中國(guó)多晶硅行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)體系，形成了包括質(zhì)量、能耗、設(shè)計(jì)、安全、環(huán)保在內(nèi)的全面的標(biāo)準(zhǔn)體系，建立了能耗和質(zhì)量控制要素、技術(shù)指標(biāo)和評(píng)定方法，提高了我國(guó)多晶硅行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)化水平，進(jìn)一步完善了行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)體系，為多晶硅產(chǎn)品升級(jí)、安全生產(chǎn)和節(jié)能減排提供了技術(shù)支撐，為民族多晶硅產(chǎn)業(yè)發(fā)展作出了突出貢獻(xiàn)，帶動(dòng)了太陽(yáng)能光伏和相關(guān)制造業(yè)的發(fā)展，實(shí)現(xiàn)了顯著的經(jīng)濟(jì)、社會(huì)和環(huán)境效益。
　　在此過(guò)程中，中國(guó)恩菲憑借諸多創(chuàng)新成果，填補(bǔ)了國(guó)內(nèi)空白，達(dá)到國(guó)際先進(jìn)水平，獲得國(guó)家科技進(jìn)步獎(jiǎng)、優(yōu)秀發(fā)明專利獎(jiǎng)、省部級(jí)科技獎(jiǎng)勵(lì)30多項(xiàng)。
　　古語(yǔ)云：“天將降大任于斯人也，必先苦其心志，勞其筋骨，餓其體膚，空乏其身，行拂亂其所為，所以動(dòng)心忍性，曾益其所不能。”對(duì)于中國(guó)多晶硅行業(yè)而言，艱難困苦后玉汝于成者，能擔(dān)行業(yè)崛起之重任，逆境求強(qiáng)仍砥礪前行者，必引領(lǐng)行業(yè)超越之發(fā)展，而中國(guó)恩菲，已經(jīng)行進(jìn)在承行業(yè)發(fā)展之責(zé)的道路上，將為民族多晶硅產(chǎn)業(yè)振興奮斗不息，更將為推動(dòng)光伏產(chǎn)業(yè)持續(xù)發(fā)展砥礪前行。