亚洲欧美久久一区二区,天天色综合1,亚洲宅男天堂a在线,国产乱来视频,国产成人精品亚洲午夜麻豆,a视频网站,在线观看a视频

高質量半絕緣GaN的制備

2008年04月01日 0:0 6242次瀏覽 來源:   分類: 新技術

        GaN作為寬禁帶半導體材料之一,因其良好的熱穩(wěn)定性、較高的擊穿電壓,在高功率高頻率電子器件方面有較大發(fā)展前途。通常非摻雜GaN因Ga空位和殘余氧表現(xiàn)為n型。摻入某些金屬元素(如鐵)作為深能級受主,利用補償作用可改善GaN電學性質。

       利用MOCVD技術,在2英寸c面藍寶石襯底上,按照標準的兩步生長法制備GaN薄膜。TMGa和NH3分別作為Ga源和N源,雜質源Cp2Fe通過H2攜帶進入生長室。在520℃生長GaN晶核層,之后在1080℃生長0.5μm厚的摻鐵GaN緩沖層,最后生長1.5μm厚的非摻雜GaN緩沖層。分別制備了3×1018/cm3輕摻雜和1×1019/cm3重摻雜兩種GaN樣品,作為對比研究摻入Fe對GaN表面形貌、光學和電學性質的影響。GaN表面隨著摻入Fe的增加變得很粗糙,表明GaN生長模式由二維生長轉變?yōu)槿S生長。X射線搖擺曲線的半波全寬表明,少量Fe的摻入并沒有顯著降低晶體質量。通過測量樣品Hall效應,發(fā)現(xiàn)輕摻雜樣品載流子濃度比非摻雜樣品降低了約4個數(shù)量級,為1.6×1012/cm3,重摻雜樣品幾乎不導通。這一結果證明了Fe原子在Ga空位的補償作用,得到了高質量的半絕緣GaN薄膜。(摘編上海硅酸鹽研究所網(wǎng))

責任編輯:CNMN

如需了解更多信息,請登錄中國有色網(wǎng):m.bestexercisefitness.com了解更多信息。

中國有色網(wǎng)聲明:本網(wǎng)所有內(nèi)容的版權均屬于作者或頁面內(nèi)聲明的版權人。
凡注明文章來源為“中國有色金屬報”或 “中國有色網(wǎng)”的文章,均為中國有色網(wǎng)原創(chuàng)或者是合作機構授權同意發(fā)布的文章。
如需轉載,轉載方必須與中國有色網(wǎng)( 郵件:cnmn@cnmn.com.cn 或 電話:010-63971479)聯(lián)系,簽署授權協(xié)議,取得轉載授權;
凡本網(wǎng)注明“來源:“XXX(非中國有色網(wǎng)或非中國有色金屬報)”的文章,均轉載自其它媒體,轉載目的在于傳遞更多信息,并不構成投資建議,僅供讀者參考。
若據(jù)本文章操作,所有后果讀者自負,中國有色網(wǎng)概不負任何責任。